等离子体聚焦离子束电镜( PFIB，plasma focused ion beam )是近年来发展起来的一种新型的聚焦离子束电镜，同时具有多源离子束和电子束，可实现在电子束观察下应用多种离子源进行微纳加工，可实现定点的刻蚀、沉积、透射电镜样品制备、三维重构、平面剖光等，相比传统的镓离子源，加工速度快、损伤更小。

详情见：http://cpam.iccas.ac.cn/doclist.action?chnlid=3657