X射线衍射（XRD）是一种广泛应用于材料科学领域的非破坏性测试方法，可以用来研究晶体结构、晶格常数、晶体取向和残余应力等信息。薄膜材料的应力测量是近年来的热点课题，因其应力的存在会对膜基体系产生许多有害的影响，因此，薄膜内应力的测试和分析的研究具有非常重要的意义。

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