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X射线光电子能谱是分析元素化学态的有效方法之一。通常是通过电子结合能的化学位移来确定元素的化学态。但是，有一些元素其光电子峰的化学位移很小，很难分辨其化学态，如Cu0与Cu+、Zn0与Zn++。对于这些元素，如果它们的俄歇峰比较强，则可以用俄歇参数的方法来确定其化学态。俄歇参数的定义为最强光电子峰与最锐俄歇峰之和，即：α’=BEp+KEA
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光电子峰
结合能/eV
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俄歇峰
动能/eV
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俄歇参数/eV
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备注
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Cu0
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932.4
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918.6
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1851.0
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Cu+
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932.2
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916.9
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1849.1
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Cu++
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933.4
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918.3
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1851.7
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Cu++的Cu2p峰有shake up峰
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Zn0
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1021.4
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992.4
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2013.8
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Zn++
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1021.7
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988.8
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2010.5
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表.铜和锌不同化学态的数据
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