深度剖析作为XPS应用中的一项重要技术在不同研究领域有着越来越多的应用需求,如研究各种材料的镀层,有机/无机材料的界面,检测生物器件上等离子沉积镀层以及研究OLED和太阳能电池等。目前,化学所分析测试中心的XPS仪器配备的都是传统的单原子离子源,即使用Ar+作为溅射粒子,一直以来都用作层状材料的深度剖析,分析不同深度范围内元素及化学态的变化。然而,单原子离子源在对有机材料和聚合物材料进行溅射时存在很大的缺陷,很容易造成材料分子结构的破坏,或者引起表面元素化学态的变化,这些都会影响XPS数据的解析,甚至可能出现误分析。
相关内容见:http://cpam.iccas.ac.cn/Downing/2015422113123754.pdf
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