电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）是以电感耦合等离子体（ICP）作为离子源，以质谱进行检测的一种无机多元素分析技术。自1980年美国Iowa大学的Houk和Fassel以及英国Surrey大学的Gray等人联名发表了第一篇ICP-MS可行性文章，随后1983年第一台商品化ICP-MS问世，经过三十多年的不断发展，ICP-MS在多个学科领域都得到了广泛的应用。

详情参见：http://cpam.iccas.ac.cn/doclist.action?chnlid=3654