聚焦离子束(Focused Ion beam, FIB)是利用静电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的束斑,并通过离子轰击材料表面,实现材料的剥离、沉积、注入和改性[1], 现代的FIB通常配置在扫描电镜上,实现在电子束观察下对样品进行定点微加工。FIB应用方向包括材料领域(形貌观察、微刻蚀、微沉积和TEM制样等)、生物领域(成像、三维重构等)、半导体行业(缺陷分析、集成电路、光掩模修复、电路修改等)等。但是聚焦离子束对样品具有破坏性,尤其是对辐照敏感样品和生物样品,离子束在撞击处有一定的损伤和植入。而冷冻FIB(Cryo-FIB)是将聚焦离子束电镜和冷冻系统结合,减少了离子束对样品的损伤,并且可对液相和离子束敏感的样品进行分析,如聚合物、乳液、颜料、油墨、食品、生物样品等[2],因此近年来Cryo-FIB受到了越来越广泛的关注。
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