在用扫描/透射电镜观察样品时，经常存在图像模糊、漂移、电子束照射之后变黑等问题，致使拍不到高质量的图片，这是因为样品表面被碳氢化合物污染后在电子束照射下发生了积碳现象。引起碳氢物污染的原因有以下几个方面：样品表面通常会吸附一层碳氢物、样品合成制备过程中使用有机物（如表面活性剂）、电镜油泵的油蒸汽进入真空系统、样品杆在空气中被污染。因此，为了便于观察、得到清晰的高质量的图片，同时提高EDX等成分分析的精度，有必要去除样品表面的污染物，比较有效的方法是等离子清洗，分为氢等离子和氧等离子清两种。

    氧等离子清洗的原理是利用氧等离子体将表面碳氢化合物氧化成水和二氧化碳，还原样品真实表面，从而避免在电镜观察时出现积碳现象，可有效提高清晰度。由于功率较低（大约5W），所以不会对样品产生大的损伤。在清洗功能之外，还可利用氧等离子进行材料表面改性或反应合成等实验。