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在X射线光电子能谱（XPS）分析中，元素芯能级光电子峰结合能位移称之为“化学位移”，它往往是判定该元素化学态的依据。近年来，随着纳米材料研究的发展，人们发现在XPS分析中有纳米尺寸效应存在。我们认为纳米粒子尺寸效应常使电子结合能向高位移。这种电子结合能向高位移的现象并不是以往的元素化学态改变所致。所以，当用XPS分析20nm以下的纳米材料时，要仔细分析谱峰电子结合能的增高，究竟是化学位移的影响还是纳米尺寸效应的影响。
表、一些样品的实验结果
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化合物
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能级
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纳米化合结合能（eV）
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非纳米化合物结合能（eV）
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结合能位移（eV）
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Pt
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Pt4f7/2
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72.0
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71.0
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1.0
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TiO2
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Ti2p3/2
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458.63
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458.54
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0.14
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ZnO
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Zn2p3/2
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1021.53
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1021.27
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0.26
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SiO2
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Si2p
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103.57
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103.17
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0.40
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