元素分析在电镜分析中经常使用，随着科学技术的发展，现代分析型电镜通过安装X射线能谱、能量过滤器、高角度环形探测器等配件，逐步实现了在多学科领域、纳米尺度下对样品进行多种信号的测试，从而可以获得更全面的结构以及成分信息。以下是几种现在常用的电镜中分析元素的方法。

相应内容见http://cpam.iccas.ac.cn/Downing/201331815133835.pdf