电子显微镜是以高速入射电子作为光源，通过电子束与物质的相互作用产生不同的信号，常见的电子与样品相互作用产生的信号如图1所示，收集和分析这些信号可以获得样品结构特征和化学成分信息。入射电子束与样品中的原子核及核外电子相互作用，导致入射电子的方向和能量发生改变，这种现象称为电子散射。根据散射过程中电子能量是否发生改变，可以将散射分为弹性散射和非弹性散射。若电子束与样品发生作用后，只有方向改变而无能量损失，这种散射称为弹性散射，弹性散射是电子衍射和电子衍射成像的基础^{[1, 2]}。若电子束与样品发生作用后，电子的方向和能量都发生了改变，这种散射称为非弹性散射。电子在非弹性散射过程中失去的能量被转化为光、热、X-射线、二次电子等，电子的非弹性散射是X射线能谱分析（EDS: Energy Dispersive X-ray Spectroscopy）和电子能量损失谱（EELS: Electron Energy-loss Spectroscopy）的基础^[2]。

详情见http://cpam.iccas.ac.cn/doclist.action?chnlid=3657