XPS作为一种高效的表面分析手段，其在材料科学、化学化工、半导体器件、能源电池、微电子、信息产业、环境等高新技术领域的应用越来越广泛。随着商业化XPS设备的普及和应用，科研人员使用设备的需求更趋于多元化。在要求仪器设备具有更高性能的同时，科研人员越来越关注同一设备能否提供更多的拓展功能，如原位多技术联用，从而实现对材料多维度的原位表征分析。

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