扫描电镜对导电性不好的样品如有机样品的表面形貌进行表征时，荷电现象是最常见且棘手的问题。荷电现象是在观察导电性差的样品时，入射电子数与从样品表面溢出的电子数不相等，大量自由电子在样品浅表层的全部或局部堆积形成荷电场，影响该部位二次电子和背散射电子正常溢出，样品表面形貌像出现的异常亮、异常暗和表面被磨平这三种异常现象。针对导电性差的样品，通常采用在样品表面喷涂一层导电物质如金、铂、铬、碳等来减弱、消除荷电现象，但是喷涂的这一层导电层会掩盖样品表面的细节形貌，因此，近些年，通常通过调节加速电压的方式来减弱、消除荷电现象。

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